Микроскопы сканирующие зондовые измерительные «ИНТЕГРА»

Сканирующие зондовые лаборатории — это измерительные комплексы, позволяющие проводить измерения характеристик исследуемых образцов с применением широкого набора методик, включая методы сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ). Разработанные компанией зондовые лаборатории позволяют наряду с традиционными СЗМ исследованиями проводить исследования оптических характеристик образцов, включая конфокальную микроскопию и спектральные измерения. Разработаны модели зондовых лабораторий, имеющие в своем составе безапертурные сканирующие ближнепольные оптические микроскопы (СБОМ), а также модели, позволяющие проводить 3D исследования за счет использования встроенного микротома.

Отличительной особенностью нанотехнологического комплекса (нанолаборатории) является объединение методик зондовой микроскопии с другими аналитическими методами исследования свойств образцов (включая методы подготовки образцов), что качественно улучшает возможности как зондовой микроскопии, так и других используемых в нанокомплексе аналитических методик: оптической микроскопии, спектроскопии, микротомии.

Зондовая нанолаборатория (ЗНЛ) Ntegra является уникальным измерительным комплексом нанометрового разрешения, включающим:

• сканирующий зондовый микроскоп с практически полным набором методик микроскопии, спектроскопии, литографии и наноманипуляций, проводимых в обычных условиях, в жидкости, в вакууме, в условиях высоких и пониженных температур;
• ближнепольный оптический микроскоп;
• безапертурный ближнепольный оптический микроскоп;
• сканирующий конфокальный Рамановский спектрометр.

Лаборатория Ntegra позволяет реализовать более 40 методик зондовой микроскопии, в том числе силовую акустическую микроскопию, позволяющую проводить локальные измерения модуля Юнга, фемтотоковые измерения, нанолитографию с разрешением до 10 нм.

Сканеры с низкошумящими емкостными датчиками позволяют проводить измерения линейных размеров с точностью до 0,4 %.

Технические характеристики

Исследовательские измерительные СЗМ комплексы семейства ИНТЕГРА сформированы на основе единой платформы. На сегодняшний день семейство ИНТЕГРА представляют восемь специализированных комплексов, охватывающих основные направления и применения зондовой микроскопии.

ИНТЕГРА Прима характеризуется многофункциональностью и универсальностью применений, наличие специально разработанного оптического объектива позволяет исследовать объекты с размерами от Å до мм с при непрерывном изменении «увеличения».

ИНТЕГРА Терма предназначена для температурных измерений, характеризуется чрезвычайно низкими (10-15 нм/°С) температурными дрейфами, что при наличии автоматизированного управления комплексом позволяет проводить уникальные эксперименты.

ИНТЕГРА Аура за счет создания вакуума (до 10^-2 Торр) или контролируемой атмосферы значительно облегчает получение достоверных СЗМ данных и их интерпретацию. 

ИНТЕГРА Максимус характеризуется большеразмерным автоматизированным координатным столом, что в сочетании со специально разработанным ПО позволяет не только проводить исследования большеразмерных (до 100 мм) образцов, но и осуществлять высокопроизводительные измерения больших массивов тестовых образцов и структур.

ИНТЕГРА Соларис позволяет реализовать одновременно две схемы СБОМ измерений при чрезвычайно высокой стабильности оптических измерений за счет использования интегрированного в координатный стол объектива.

ИНТЕГРА Вита предназначена для разнообразных исследований в биологии и медицине, характеризуется широким набором многофункциональных жидкостных ячеек, позволяющих в т.ч. осуществлять измерения одновременно как с использованием АСМ, так и с применением высокоапертурных иммерсионных объективов.

ИНТЕГРА Томо является базирующейся на ультрамикротоме уникальной СЗМ системой, позволяющей получать 3D АСМ изображения, которые могут сочетаться данными ПЭМ, полученными на срезах того же образца.

ИНТЕГРА Спектра является блестящим сочетанием АСМ, конфокального лазерного микроскопа и Рамановского спектрометра. В этой системе данные АСМ и оптической микроскопии/спектроскопии могут получаться одновременно при чрезвычайно высокой стабильности оптических измерений за счет использования интегрированного в координатный стол объектива.


Назад в раздел