EN
Поиск по сайту
Новости AKTAKOM(574)
Новости Anritsu(121)
Новости Fluke(134)
Новости Keithley(78)
Новости Keysight Technologies(666)
Новости Metrel(24)
Новости National Instruments(265)
Новости Pendulum(20)
Новости Rigol(96)
Новости Rohde & Schwarz(558)
Новости Tektronix(225)
Новости Texas Instruments(23)
Новости Yokogawa(132)
Новости Росстандарта(154)
АКТАКОМ
Anritsu
FLUKE
Keithley Instruments
Keysight Technologies
METREL
NI
RIGOL
Rohde & Schwarz
Spectracom
Tektronix
Texas Instruments
Yokogawa
Росстандарт
Авторизация
Логин:
Пароль:
Забыли свой пароль?
Зарегистрироваться
Информация
АКТАКОМ - Измерительные приборы, виртуальные приборы, паяльное оборудование, промышленная мебель

ГЭТ 186-2010: Государственный первичный эталон единиц эллипсометрических углов

Об Энциклопедии измерений
Поиск:  

ГЭТ 186-2010: Государственный первичный эталон единиц эллипсометрических углов

Государственный первичный эталон единиц эллипсометрических углов ГЭТ 186-2010 используется для исследования физико-химических свойств поверхности, ее морфологии, для измерения толщин многослойных структур и характеризации оптических свойств тонких пленок.

Состав эталона:

  • Эталонная установка для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрических углов Дельта и Пси;
  • Эталонная установка для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрического угла Дельта.

В состав эталонной установоки для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрических углов Дельта и Пси входят:

  • цифровой спектральный эллипсометр;
  • эталонные меры эллипсометрических углов в виде эллипсометрических пластинок – кремниевых пластинок с пленкой из двуокиси кремния различной толщины - для контроля стабильности эталона;
  • цифровая метеостанция для измерения параметров окружающей среды;
  • системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.

В состав эталонной установки для воспроизведения, хранения и передачи размера единицы эллипсометрического угла Дельта входят:

  • цифровой поляриметр с вращающимся анализатором;
  • эталонные меры эллипсометрического угла Дельта в виде четверть -и полуволновых фазовых пластинок нулевого порядка для контроля стабильности эталона;
  • цифровая метеостанция для измерения параметров окружающей среды;
  • системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.

Технические характеристики:

Диапазон значений, воспроизводимых эталоном:
- эллипсометрического угла Дельта
- эллипсометрического угла ПСИ
0° до 360°
0° до 90°
Среднее квадратическое отклонение результатов измерений, не более:
- воспроизведение единицы эллипсометрического угла Дельта
- воспроизведение единицы эллипсометрического угла Пси
0,02°
0,01°
Неисключенная систематическая погрешность, не более:
- воспроизведение единицы эллипсометрического угла Дельта
- воспроизведение единицы эллипсометрического угла Пси
0,05°
0,03°

Институт – хранитель ГПЭ ФГУП "ВНИИОФИ".

Возврат к списку


Материалы по теме:

Поделиться:
Читайте бесплатно
№ 4 Декабрь 2021
КИПиС 2021 № 4
Тема номера:
Современная измерительная техника
События из истории измерений
15.07.1904
День рождения одного из первых отечественных лауреатов Нобелевской премии
Черенков Павел Алексеевич
Конвертер единиц измерения
Мы используем файлы 'cookie', чтобы обеспечить максимальное удобство пользователям.