Системы параллельного тестирования надежности кристаллов на пластине (WLR) с модулями источника-измерителя сигнала (SMU)

Системы испытания надежности кристаллов на пластине (WLR) используются на производстве уже в течение многих десятилетий, и различаются по измерительным возможностям и архитектуре. Специализированные системы WLR могут использовать высокочастотный переменный ток или импульсные сигналы. Тем не менее, для тестирования большинства полупроводниковых устройств применяются приборы постоянного тока, такие как источник-измеритель SMU, которые формируют необходимое напряжение и способны осуществлять измерения и сбор данных о параметрах.
Автор(ы):  Джейк Харнак (Jake Harnack)
Номер журнала:  КИПиС 2016 № 6