English
Поиск по сайту
Новости AKTAKOM(535)
Новости Anritsu(116)
Новости Fluke(134)
Новости Keithley(78)
Новости Keysight Technologies(618)
Новости Metrel(22)
Новости National Instruments(265)
Новости NIST(0)
Новости Pendulum(20)
Новости Rigol(86)
Новости Rohde & Schwarz(521)
Новости Tektronix(210)
Новости Texas Instruments(21)
Новости Yokogawa(105)
Новости Росстандарта(139)
АКТАКОМ
Anritsu
FLUKE
Keithley Instruments
Keysight Technologies
METREL
NI
NIST
RIGOL
Rohde & Schwarz
Spectracom
Tektronix
Texas Instruments
Yokogawa
Росстандарт
Авторизация
Логин:
Пароль:
Забыли свой пароль?
Зарегистрироваться
Реклама на сайте
АКТАКОМ - Измерительные приборы, виртуальные приборы, паяльное оборудование, промышленная мебель

ГЭТ 186-2010: Государственный первичный эталон единиц эллипсометрических углов

Об Энциклопедии измерений
Поиск:  

ГЭТ 186-2010: Государственный первичный эталон единиц эллипсометрических углов

Государственный первичный эталон единиц эллипсометрических углов ГЭТ 186-2010 используется для исследования физико-химических свойств поверхности, ее морфологии, для измерения толщин многослойных структур и характеризации оптических свойств тонких пленок.

Состав эталона:

  • Эталонная установка для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрических углов Дельта и Пси;
  • Эталонная установка для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрического угла Дельта.

В состав эталонной установоки для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрических углов Дельта и Пси входят:

  • цифровой спектральный эллипсометр;
  • эталонные меры эллипсометрических углов в виде эллипсометрических пластинок – кремниевых пластинок с пленкой из двуокиси кремния различной толщины - для контроля стабильности эталона;
  • цифровая метеостанция для измерения параметров окружающей среды;
  • системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.

В состав эталонной установки для воспроизведения, хранения и передачи размера единицы эллипсометрического угла Дельта входят:

  • цифровой поляриметр с вращающимся анализатором;
  • эталонные меры эллипсометрического угла Дельта в виде четверть -и полуволновых фазовых пластинок нулевого порядка для контроля стабильности эталона;
  • цифровая метеостанция для измерения параметров окружающей среды;
  • системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.

Технические характеристики:

Диапазон значений, воспроизводимых эталоном:
- эллипсометрического угла Дельта
- эллипсометрического угла ПСИ
0° до 360°
0° до 90°
Среднее квадратическое отклонение результатов измерений, не более:
- воспроизведение единицы эллипсометрического угла Дельта
- воспроизведение единицы эллипсометрического угла Пси
0,02°
0,01°
Неисключенная систематическая погрешность, не более:
- воспроизведение единицы эллипсометрического угла Дельта
- воспроизведение единицы эллипсометрического угла Пси
0,05°
0,03°

Институт – хранитель ГПЭ ФГУП "ВНИИОФИ".

Возврат к списку

Свежий номер
№ 4 Август 2020
КИПиС 2020 № 4
Тема номера:
Современная измерительная техника
Подписаться на журнал
WEB-приложение для подписчиков журнала
События из истории измерений
29.09.1901
День рождения
Конвертер единиц измерения