English
Поиск по сайту
Новости AKTAKOM(526)
Новости Anritsu(112)
Новости Fluke(134)
Новости Keithley(78)
Новости Keysight Technologies(605)
Новости Metrel(18)
Новости National Instruments(265)
Новости NIST(0)
Новости Pendulum(20)
Новости Rigol(75)
Новости Rohde & Schwarz(505)
Новости Tektronix(205)
Новости Texas Instruments(21)
Новости Yokogawa(98)
Новости Росстандарта(137)
АКТАКОМ
Anritsu
FLUKE
Keithley Instruments
Keysight Technologies
METREL
National Instruments
NIST
RIGOL
Rohde & Schwarz
Spectracom
Tektronix
Texas Instruments
Yokogawa
Росстандарт
Авторизация
Логин:
Пароль:
Забыли свой пароль?
Зарегистрироваться
Реклама на сайте
АКТАКОМ - Измерительные приборы, виртуальные приборы, паяльное оборудование, промышленная мебель
АКТАКОМ – победитель конкурса "Best in Test"!

ГЭТ 203-2012: Государственный первичный эталон единицы комплексного показателя преломления

Об Энциклопедии измерений
Поиск:  

ГЭТ 203-2012: Государственный первичный эталон единицы комплексного показателя преломления

Государственный первичный эталон применяют для измерения оптических постоянных n и k тонкопленочных структур, представляющих собой комбинации тонких металлических, диэлектрических и полупроводниковых слоев (пленок) на поверхности полупроводникового кристалла или изолятора, необходимы в микроэлектронике. Контроль технологических параметров (толщина, композиция состава, величина шероховатости) в полупроводниковой наноэлектронике, в рентгеновской оптике, оптике интерференционных покрытий, включающих слои металлов. Комплексный показатель преломления необходимо измерять и учитывать при интерференционных измерениях высоты рельефа и/или толщины в нанометровом диапазоне.

Основные области применения:

  • микроэлектроника
  • физика твердого тела
  • физика поверхности
  • материаловедение
  • технология оптических покрытий
  • химия полимеров и электрохимия
  • биология, медицина

Измерение комплексного показателя преломления (его составляющих n и k) выполняется с помощью спектрального эллипсометра через измерение эллипсометрических углов. Используются как стандартные модели «Metal Substrates», «Absorbing Thin Films (B-Spline)», так и собственные модели в зависимости от типа подложки (сапфир, ситалл, кремний).

Для передачи размера единиц изготовлены эталонные меры комплексного показателя преломления однослойные и многослойные в виде плоских супергладких подложек с пленками различной толщины из разных металлов, полупроводников и диэлектриков, а также массивные заготовки из кремния и других материалов. Для контроля качества мер используются профилометр интерференционный компьютерный (плоскостность) и автоматизированный интерференционный микроскоп (шероховатость).


Эталонные меры комплексного показателя преломления

Государственный первичный эталон состоит из комплекса следующих технических средств и вспомогательных устройств:

  • цифрового спектрального эллипсометра;
  • эталонных мер комплексного показателя преломления однослойных и многослойных в виде плоских супергладких подложек с пленками различной толщины из разных металлов, полупроводников и диэлектриков, а также массивные заготовки из кремния и других материалов – для контроля стабильности эталона;
  • профилометра интерференционного компьютерного для контроля плоскостности рабочей поверхности эталонных мер;
  • автоматизированного интерференционного микроскопа для контроля параметров шероховатости супергладких рабочей поверхности эталонных мер;
  • цифровой метеостанции для измерения параметров окружающей среды;
  • системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.

Технические характеристики:

Диапазон значений комплексного показателя преломления, в котором воспроизводятся единицы, составляет:
- для действительной части п (показатель преломления)
- для мнимой части k (главный показатель поглощения)
от 0,5 до 5,0
от 0,01 до 8,0
Среднее квадратическое отклонение:
- для действительной части п не более
- для мнимой части k не более
0,001
0,002
Неисключенная систематическая погрешность:
- для действительной части п не более
- для мнимой части k не более
0,0007
0,0004
Стандартная неопределенность измерений оцененная по типу А:
uA(n)
uA(k)
0,001
0,002
Стандартная неопределенность измерений оцененная по типу B:
uB(n)
uB(k)
0,0007
0,0004
Суммарная стандартная неопределенность:
uC(n)
uC(k)
0,001
0,002
Расширенная неопределенность при коэффициенте охвата k = 2:
UР(n)
UP(k)
0,002
0,004

ФГУП «ВНИИОФИ»


Возврат к списку

Свежий номер
№ 2 Апрель 2020
КИПиС 2020 № 2
Тема номера:
Современная измерительная техника
Подписаться на журнал
WEB-приложение для подписчиков журнала
Конвертер единиц измерения