English
Поиск по сайту
Новости AKTAKOM(523)
Новости Anritsu(111)
Новости Fluke(134)
Новости Keithley(78)
Новости Keysight Technologies(600)
Новости Metrel(17)
Новости National Instruments(265)
Новости NIST(0)
Новости Pendulum(20)
Новости Rigol(74)
Новости Rohde & Schwarz(498)
Новости Tektronix(202)
Новости Texas Instruments(20)
Новости Yokogawa(92)
Новости Росстандарта(136)
АКТАКОМ
Anritsu
FLUKE
Keithley Instruments
Keysight Technologies
METREL
National Instruments
NIST
RIGOL
Rohde & Schwarz
Spectracom
Tektronix
Texas Instruments
Yokogawa
Росстандарт
Авторизация
Логин:
Пароль:
Забыли свой пароль?
Зарегистрироваться
Реклама на сайте

Методы измерения удельного сопротивления и типа полупроводников

Об Энциклопедии измерений
Поиск:  

     В полупроводниковой и микроэлектронной промышленности часто возникает необходимость в измерении удельного сопротивления полупроводников – отношения напряженности поля в равномерно легированном полупроводнике (или веществе) к плотности тока в нем. Единица измерения объемного удельного сопротивления - Ом·м. Обычно различают поверхностное и объемное сопротивления (поверхностное сопротивление измеряется в Омах).

     Для измерения объемного удельного сопротивления наиболее часто используют 4-точечную (4-зондовую) измерительную схему, представленную на рис. 1.

Рис. 1. Стандартная 4-точечная схема измерения объемного удельного сопротивления

Удельное сопротивление в общем случае вычисляется по формуле:

где I – ток, заданный во внешние зажимы, V- измеренное на внутренних зажимах напряжение, t – расстояние между точками (в см) и k – поправочный коэффициент, учитывающий геометрию образца, его размеры и толщину.

     Фирма Keithley выпускает измерительную головку (опцию) 8009, которая может подключаться к измерительным приборам (в частности, к мультиметрам). При использовании образцов стандартного размера она рекомендует измерительные схемы, представленные на рис. 2. В качестве источника напряжения и измерителя тока (пикоамперметра) используется прибор 6517A. На рис. 2 приведены формулы для расчета поверхностного и объемного удельных сопротивлений.

Рис.2. Измерительные схемы для измерения удельного поверхностного (а) и объемного (б) сопротивлений, рекомендуемые фирмой Keithley

     Размеры электродов измерительной головки показаны на рис. 3. Эти размеры стандартизированы и обеспечивают высокую точность измерений.

Рис. 3. Размеры электродов измерительной головки 8009 фирмы Keithley

Источник

А. А. Афонский, В. П. Дьяконов, Электронные измерения в нанотехнологиях и в микроэлектронике

Под ред. проф. В. П. Дьяконова, Москва, ДМК пресс, 2011


Возврат к списку


Материалы по теме:

Свежий номер
№ 1 Февраль 2020
КИПиС 2020 № 1
Тема номера:
Современная измерительная техника
Подписаться на журнал
WEB-приложение для подписчиков журнала
Конвертер единиц измерения